中图分类号：G53 文献标志码：A DOI：10.3969/j.issn.1672-3937.2025.08.06

一、引言

作为现代科技的支柱和“工业粮食”，半导体行业被视为关乎国民经济、国家安全和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业。近年（试读）...